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为何死磕EUV光刻？
过去两年高数值孔径极紫外光刻技术发展迅速，首批系统交付，实验室启动。该技术有分辨率、工艺简化、设计灵活三大优势，将成先进技术关键推动因素。华登国际董事长陈立武荣获2023年IMEC终身创新奖
比利时安特卫普时间5 月 16 日至 17 日，陈立武董事长将在超过2,000 名半导体和深科技高管的陪伴下，在ITF World的颁奖典礼上领奖。
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